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x,y,z,stage
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xyz ½ºÅ×ÀÌÁö 10mm XYZ 3Ãà ¼öµ¿ ¼±Çü ½ºÅ×ÀÌÁö(LD60-LM)ÀÔ´Ï´Ù. À̵¿ ¹æÇâÀº XYZ 3ÃàÀ̸ç, XYÃàÀº ¡¾6.5mm, ZÃàÀº 10mm À̵¿ÇÕ´Ï´Ù. - ±¸µ¿ ¹æ½ÄÀº ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ ¹æ½ÄÀ̸ç, ÃÖ¼Ò ´«±ÝÀº 0.01mmÀÔ´Ï´Ù.
- ÀçÁúÀº ¾Ë·ç¹Ì´½ ÇÕ±ÝÀ̸ç, ÃÖ´ë ÇÏÁßÀº 24.5N(¾à 3kgf)ÀÔ´Ï´Ù.
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